半导体中的流量控制器是用于精确控制气体或液体流量的核心部件,其精度直接影响半导体制造工艺(如薄膜沉积、蚀刻、清洗等)的稳定性和成品良率。
QK1系列是高性能闭环流量控制器,设计用于各种高纯度液体,包括纯水、化学液和CMP抛光液每个控制器模块包含两个主要组件:测量管、流量控制阀门 。操作时用户通过模拟信号输入流量“设定值”,流量控制模块的电子设备不断的将该设定值与实际测量的流量进行比较,并提供连续信号来调节控制阀,以保持所需的设定值 。QK1系列采用先进的控制算法,结合高速/精密压电阀极大程度的避免超调、欠补偿、振荡等现象的发生。
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