设备具备满足陶瓷基片的封装基板表面微铜柱电镀、微框电镀、(厚度≥500μm)、微框电镀(厚度≥500μm)。设备的工艺可以满足陶瓷基片的封装基板表面微铜柱电镀、微框电镀、微孔电镀。 设备适用于耐腐蚀结构:设备采用SUS304方管骨架,外壳使用进口PP板包覆使用,整体可在腐蚀环境使用; 设备配套控制软件,软件为中文界面,可免费升级。 设备采用PLC+PC进行程序编制,操作界面为中文画面,提供后续免费升级。
特性与规格:
允许加工基板尺寸6英寸,支持6英寸圆片、4英寸方片;
槽体规格:槽体尺寸满足6英寸片的电镀,向下兼容;
产品优势:
设备密封性能:内部千级;
工作模式:过程自动操作,干进干出;
配液方式:自动配液;
工艺温度:±1-3℃;
工艺时间:0-999min可调
电镀均匀性:片内≤±5%,片间≤±5%;
处理能力
支持加工基板尺寸6英寸,支持6英寸圆片、4英寸方片;
槽体规格:槽体尺寸满足6英寸片的电镀,向下兼容。
单片清洗机
桶清洗设备
CCB槽车充填设备柜体
水平电镀设备
晶圆化镀设备
槽式清洗设备
单片清洗设备
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