半导体共液系统是 “隐性刚需” 设备 —— 虽不直接参与芯片制造,但通过稳定、精准的液体供应,间接决定芯片良率和性能。其设计围绕 “高精度、高纯净、高可靠” 展开,是半导体产线 “精细化控制” 的典型体现。
产品特点:
主要应用于为各种化学液体,进行输送、称量、配比等功能;
一般配置泵、阻尼器,过滤器,气液分离器。具备自动切换,紧急切断,泄漏侦测,负压故障报警,压力监测、流量监控、PH检测及相关报警安全连锁所必须的功能;
有机化学品系统配置自动灭火系统,高温报警连锁等专用安全装置,使药液在供应过程中有极高的安全性、稳定性、可控性,可调性等;
研磨液供应系统主要用于半导体行业8—12寸晶圆研磨制程。系统设备配套不锈钢及高分子塑性材料管道系统;
研磨液供应系统主要用于半导体行业8—12寸晶圆研磨制程。系统设备配套不锈钢及高分子塑性材料管道系统。
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