设备主要用于生产过程中清洗晶圆表面微颗粒，并且其工艺参数设置方便，操作界面人性化，设备状态及工作过程易监控，有良好的品质和稳定的度，可靠性好，使用、操作、维修方便，售后优良。
技术指标：
①使用温度范围<60℃;
②兆声换能器功率>1000W;
③兆声频率>0.8MHz;
④适用于4英寸及以下尺寸晶圆清洗，
⑤最小清洗颗粒≤0.2um
设备附件：
①具有适合2英寸、3英寸、4英寸晶圆使用的提篮，数量各两个；
②具有固定烧杯的夹具，数量一套;③维护零件包和工具包，数量各一套
验收标准：
①提供设备出厂合格证书，国防计量技术机构或CNAS认可实验室出具的证书报告;
②最终验收标准依据现行有效的国家、GJB或军工计量技术规范，具体验收技术指标以双方协定的技术协议为准
单片清洗机
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