应用范围：
进货/出货-Shipping Cassette←→Process Cassette；
高温制程-Cassette←→ Quartz/SiC Boat；
湿制程PP Cassette←→PFA Cassette；
SMIF System←→POD-POD/Cassette；
不同Pitch Cassette对传、晶圆背对背传送、25+25传50片；
产品特色：
150—200mm Wafer Transfer适用于Class1等级无尘室；
对应晶圆厚度200—800um；
LCD控制面板操作简易安全；
电子装置模块化大幅降低机器维护时间，避免耽误生产进度；
Comb/Retainer为PEEK 材质，可耐酸碱/高温；
可整合对自动寻边功能；
Stage可针对客户特殊需求做设计及调整；
产品说明
将整批晶圆由 cassette 转换至 cassette/石英 boat/碳化硅 boat中
应用范围
进货/出货-Shipping Cassette←→Process Cassette
高温制程-Cassette←→ Quartz/SiC Boat
湿制程PP Cassette←→PFA Cassette
SMIF System←→POD-POD/Cassette
不同Pitch Cassette对传、晶圆背对背传送、25+25传50片