FOUP清洗机是一种自动的离心清洗机，适用于所有类型的晶圆料盒（SmifFoup、Fosb、Cassette）,可以实现高精度的清洗和干燥效果。 在Chamber的花篮上安装和固定待清洗的foup，在封闭的清洗室内360°转动清洗。由DIWater产生的表面张力、机械力进行Particle清洗，离心+IR/热风进行烘干等工艺组成，高效率、高可靠性完成foup的Particle清洗。
产品特点：
针对2-12寸晶圆载具；
适用于各种材质盒子，包括PP、PVD......；
极限转速200rpm；
多段清洗流程设定，工艺记忆功能；
扭力侦测专篮卡榫未定位保护，降低因人为导致的设备损坏；
适用于各种材质盒子，包括PP、PVD......
最大转速200rpm；
扭力侦测专篮卡榫未定位保护，降低因人为导致的设备损坏。
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