卧式甩干机在半导体中的核心价值，是 “用可控的离心力，解决液体残留的不可控风险”。它通过 结构设计（低振动）、工艺精准（多段调速）、环境兼容（洁净），成为湿制程后 “守护晶圆洁净度” 的关键一环，直接影响芯片良率、性能及产线效率。
产品特点：
尺寸：适用于4-8寸
效率：可同时放置四篮进行干燥、可与设备兼容使用
极限转速：1000转
材料：与液体接触部分采用316L不锈钢
振动：使用专业的动平衡仪进行不同工况的调试。
干燥效率：整流板和腔室的结构设计符合空气动力学，提高干燥效率
配置：全系标配离子发生器和ULPA过滤器。
兼容尺寸：相连两个规格可在同一台设备使用，可选装氮气加热
电源：ＡＣ２００V（５０/６０Ｈｚ）；
轴密封：强制抽真空与防尘密封在一起；
花篮：可以安装2或4个支架；
转速调节：一档、二挡；
外壳：ＰＶＣ SUS；
安装装置：异常振动自动停机，防止过载运行；
启动时间：15秒以内。
单片清洗机
桶清洗设备
CCB槽车充填设备柜体
水平电镀设备
垂直电镀设备
晶圆化镀设备
槽式清洗设备
单片清洗设备
首页
电话
留言
回到顶部