特性与规格：
主要用于去除晶圆表面有机物、氧化层、颗粒、金属，清洗过程搭配兆声波、IPA干燥，达到一个良好的验收指标。
晶圆规格：2、4、5、6、8、12英寸晶圆；
处理能力：1篮/批，2篮/批，25片/篮；
槽体功能：循环、过滤、加热、超声、兆声、抛动、干燥；
工艺槽体：石英、PVDF、PTFE、SUS316L、NPP；
管路选配：PVDF、PFA、PP、CL-PVC
兆声波选配：KAIJO/Branson；
循环泵选配：IWAKI/Pillar/Trebor等
过滤器选配：美国PALL、美国Entegris、科百特等；
阀门选配：CKD、Gemu、Kitz、SMC、SEBA等；
触摸屏选配：PROFACE、三菱、SIEMENS、OMRON；
PLC选配：三菱、SIEMENS、OMRON。
晶圆规格：2、4、5、6、8、12英寸晶圆；
处理能力：1篮/批，2篮/批，25片/篮；槽体功能：循环、过滤、加热、超声、兆声、抛动、干燥；
工艺槽体：石英、PVDF、PTFE、SUS316L、NPP；
管路选配：PVDF、PFA、PP、CL-PVC；
兆声波选配：KAIJO/Branson；
循环泵选配：IWAKI/Pillar/Trebor等
过滤器选配：美国PALL、美国Entegris、科百特等；
阀门选配：CKD、Gemu、Kitz、SMC、SEBA等；
触摸屏选配：PROFACE、三菱、SIEMENS、OMRON；
PLC选配：三菱、SIEMENS、OMRON。